在推动IC装备产业发展的过程中，沈阳市注重点面结合、均衡布局，孕育了一批重点整机和零部件企业。
拓荆科技成立于2010年4月28日,是一家由“国家千人计划”专家姜谦博士带领的，以海外团队为主体，在承担国家02重大专项背景下成立的高新技术企业。六年来，先后开发出2-12英寸PECVD系列产品。2011年10月，首台国产12英寸PECVD样机出厂在中芯国际集成电路制造有限公司在线测试；2013年实现国产首台设备在中芯国际生产线上的成功应用与销售，打破了该产品被国外垄断的局面；2014年12寸PECVD成功拓展到3D-TSV领域，成功占领了国内新兴市场。2015年6月，12英寸国产PECVD设备在中芯国际集成电路制造有限公司累计生产突破10万片，月产能突破1万片，生产效能比国外同类设备提高10%。薄膜制备的可靠性、可重复性及工艺技术达到国际先进水平。2015年8月中芯国际采购了第二台设备用于28纳米工艺制程技术的研发。沈阳拓荆公司已经累计销售12台12寸PECVD设备，远超国家科技部下达的5台套的销售指标，在众多国家IC重大专项承担单位中，是屈指可数的能够超额完成市场销售考核指标的公司，受到专项管理办公室的好评。
芯源微电子是国内知名的专业半导体装备企业，公司的主导产品匀胶显影设备是集成电路制造中的关键工艺设备。历经十多年的开拓与创新，企业在消化引进国外先进技术基础上，开发出四大TRACK系列产品，取得180多项技术专利。通过承担国家02科技重大专项任务，自主研制完成的12英寸喷/涂胶机、显影机、刻蚀机，填补了国内此项高端产品的空白，缩短了与国际先进技术的差距，与进口同类产品相比具有性价比优势，产品价格仅是进口设备的50%，可完全替代进口设备。目前，公司的产品已经通过台积电的在线测试，即将成为正式供货方。
富创精密专业从事半导体设备、光伏设备精密零件加工制造的科技企业。致力于半导体、光伏精密零部件及备件的研发、制造、销售和服务，是国内精密零部件制造的领先企业。公司承担了02科技重大专项中唯一的平台类项目，是为国家IC装备产业提供零部件支撑服务的公共技术服务平台。先后为上海微电子（光刻机）、北京七星华创（扩散炉）、沈阳芯源（匀胶显影设备）、沈阳科仪（罗茨泵）以及美国Transmill公司（光伏设备研发）等IC装备企业的提供了精密零部件配套服务，并成为行业领导者美国应用材料公司的正式零部件供应商。
